薄膜窒化ケイ素技術における垂直結合のための高効率グレーティングカプラ

チップ上の光の高速道路

携帯電話、データセンター、科学機器は、情報を伝える手段として電気ではなく光を使う方向へますます向かっています。しかし、微小なチップ上で光を使うには、標準的な光ファイバーからチップ上に刻まれた微小な導波路へ光を効率よく取り込むための「入口」が必要です。本論文は、薄膜窒化ケイ素という有望な材料系に特に適した新しい種類の入口（オンランプ）を報告しており、ファイバーからチップへの結合損失を将来の超高速・低消費電力フォトニック回路に必要なレベルに近づけます。

引用: di Croce, F., Vitali, V., Domínguez Bucio, T. et al. High-efficiency grating couplers for vertical coupling in thin-film silicon nitride technology. Sci Rep 16, 12880 (2026). https://doi.org/10.1038/s41598-026-44998-0

キーワード: 集積フォトニクス, 窒化ケイ素, グレーティングカプラ, ファイバーからチップへの結合, フォトニック回路