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用于光学检测系统的带可调焦距透镜的物镜设计

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为微小缺陷提供更清晰的视野

从集成电路到医疗器械,现代产品充满了只有强大显微镜才能看清的小型特征。然而,这类高分辨率光学系统也有弱点:如果部件偏移仅几微毫米的千分之一,焦点就会丢失。本文介绍了一种新型显微镜透镜系统,通过电控轻微改变特殊液体透镜的形状来保持图像清晰,而不是往返移动玻璃元件。

引用: Park, Y., Jo, Y.J., Ryu, J. et al. Design of a tube lens with a focus tunable lens for optical inspection systems. Sci Rep 16, 13067 (2026). https://doi.org/10.1038/s41598-026-41904-6

关键词: 光学检测, 可调焦距透镜, 自动对焦, 机器视觉, 显微镜学