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用于腔内景观复杂矢量场整形的全空间逆向设计超构光学元件
用更锋利的“眼睛”看微小图案
现代芯片、传感器和量子器件都依赖于将结构排列得远小于人类头发的宽度。制造和探测这些微小图案把光学推到极限,因为普通透镜会把低于某一尺寸的细节模糊掉。本文提出了一种在超薄光学腔内塑造光场的新方法,使其能够忠实地“绘制”并读取远低于常规模分辨率的特征,有望带来更精细的纳米加工并增强未来光子学技术中对光的控制能力。
关键词: 超构光学, 逆向设计, 近场成像, 等离子体腔, 超分辨率光刻