選択的レーザー誘起エッチング工程で実現した二重キャビティガラスMEMS室温水素センサの感度

なぜ水素を監視することが重要なのか

水素は研究室の好奇心から日常の燃料へと移行しつつあり、自動車や非常用発電機、将来の住宅にまで利用が広がっています。しかし水素は扱いが難しく、漏れやすく、可燃濃度域が広く、視覚や嗅覚では検知しづらいという特性があります。本稿は、ガラス製で爪ほどの大きさより小さい新しい小型水素センサについて述べます。このセンサは室温で漏れを検出でき、消費電力も非常に少ない。ガラス内部の空間を巧みに設計し、最適化された触媒コーティングを組み合わせることで、化学反応で生じる微小な発熱を明確な電気信号に変換し、携帯機器や小型デバイスへの組み込みを容易にします。

引用: Park, J.Y., Jang, B., Kim, J.Y. et al. Selective laser-induced etching process-enabled double-cavity glass MEMS hydrogen sensor at room-temperature sensitivity. Microsyst Nanoeng 12, 142 (2026). https://doi.org/10.1038/s41378-026-01265-6

キーワード: 水素ガスセンサ, MEMS, ガラス微小空洞, 触媒燃焼, 室温検知